多晶硅尾氣干法回收工藝簡述?
“傳統(tǒng)西門子法”還原尾氣回收是“濕法回收”,即還原尾氣中沒有反應的三氯氫硅、氫氣和反應過程中生成的氯化氫、四氯化硅、二氯二氫硅等氣體,經(jīng)過-80℃冷卻裝置,三氯氫硅、四氯化硅冷凝為液體后回收利用,不凝的氫氣、氯化氫及少量的氯硅烷再經(jīng)過水洗噴淋,氯化氫和少量的氯硅烷被水溶解帶走,氫氣再經(jīng)過純化干燥后重新利用。“改良西門子法”還原尾氣回收過程中物料不接觸水,相對于“傳統(tǒng)西門子法”的“濕法回收”而言,稱
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